氯氣微量水分測定儀根據吸濕并電解水分的原理進行工作的。當被分析的樣氣進入電解池內，氣體中的水分即被涂敷在探頭表面的P205吸濕劑*吸收，并被加在探頭電極上的直流電壓電解成氫氣和氧氣并隨樣氣排出。
 

　　測量時其反應過程如下：
 

　　P2O5+H2O→HPO3        (吸濕過程)
 

　　HPO3→P2O5+H2↑+O2↑(電解過程)
 

　　樣氣在電解過程中，產生電解電流。根據法拉第電解定律和氣體狀態方程可導出，在一定溫度、壓力和流量條件下產生的電解電流正比與氣體中的水含量，只要測量出電解電流的大小即可測出氣體的含水量。
 

　　氯氣微量水分測定儀本身就是精密測量儀器，但是在使用微量水分測定儀進行測量的過程中，肯定存在誤差情況，這個時候我們也不能說微量水分測定儀的質量不夠好，因為不管是進口還是國產都會出現這種情況。微量水分測定儀的這種誤差情況會影響到我們的工作，所以面對這種問題，我們必須考慮如何去減少測定儀在使用中誤差的情況。
 

　　1、規范使用，按照儀器操作規程
 

　　2、非使用狀態時，盡量避免空氣進入樣氣管路導致露點值升高
 

　　3、定期送檢標校、校準
 

　　氯氣微量水分測定儀產生誤差是一件不可避免的問題，即使是再好的儀器也無法避免誤差問題，對這一個問題我們要正視，只要儀器的誤差在允許或可接受的范圍內即可。